Tier 3

Sub-Komponenten der Equipment-Bauer

Diese Firmen liefern nicht an die Fab, sondern an Tier 1 — sie sind die Zulieferer hinter den Maschinenbauern. Gerade hier sitzen einige der härtesten Single-Source-Abhängigkeiten der gesamten Halbleiterwelt. Keiner dieser Player bekommt ein eigenes Investment-Buch: Sie sind entweder Konzerntöchter des Equipment-Herstellers, Teil eines privaten Konzerns oder eines breiten Industriekonzerns.

Mapping-only Engpass: hoch Keine eigenen Bücher

Warum hier keine eigenen Steckbriefe

Tier 3 ist für das Verständnis der Engpässe zentral, aber als Einzelinvestment kaum zugänglich: Carl Zeiss SMT gehört zur privaten Zeiss-Gruppe, Cymer ist seit 2013 eine ASML-Tochter, und Edwards ist Teil von Atlas Copco. Wer diese Schicht „spielen" will, tut das meist über ASML (Tier 1) oder Atlas Copco — nicht über reine Tier-3-Titel.

EUV-Optik — Carl Zeiss SMT

Liefert die hochpräzisen Spiegel und Optikmodule für ASMLs EUV-Scanner. EUV nutzt reflektierende Optik (keine Linsen), die Spiegel gehören zum Anspruchsvollsten, was industriell gefertigt wird.

Merkmal	Detail
Rolle	EUV-Spiegel/Optik-Subsysteme, inkl. High-NA-Optik (0,55 NA)
Abhängigkeit	einziger Lieferant der EUV-Optik an ASML — Single-Source hinter dem Monopolisten
Börsenzugang	kein direkter — Teil der privaten Zeiss-Gruppe (Stiftungseigentum)
Engpass	hoch

Ein Single-Source-Lieferant hinter einem Monopolisten: Fällt Zeiss SMT aus, ist auch ASML blockiert. Das ist die tiefste, am wenigsten sichtbare Abhängigkeit der DRAM-Kette.

Quellen: ASML/ZEISS-Angaben; Branchenberichte zur High-NA-EUV-Optik.

EUV-Lichtquelle — Cymer (ASML)

Erzeugt das 13,5-nm-EUV-Licht über Laser-Produced-Plasma (LPP): Ein Hochleistungs-CO2-Laser verdampft Zinntröpfchen. Cymer war der entscheidende Lichtquellen-Pionier.

Merkmal	Detail
Rolle	LPP-EUV-Lichtquelle (CO2-Laser + Zinn-Plasma)
Status	seit Oktober 2013 ASML-Tochter (Übernahme ~1,95 Mrd. EUR)
Bedeutung	ASML hat damit den Lichtquellen-Flaschenhals intern konsolidiert
Börsenzugang	kein eigener — über ASML abgebildet

Quellen: ASML/Cymer-Übernahmemeldung 2012/2013; Branchenberichte zur EUV-Lichtquelle.

Vakuum und Abatement — Edwards (Atlas Copco)

EUV-Scanner und viele Prozesskammern arbeiten im Hochvakuum; Abgase müssen gereinigt werden. Edwards liefert Vakuumpumpen und Abatement-Systeme für die Sub-Fab.

Merkmal	Detail
Rolle	Vakuumpumpen und Abgasreinigung (Sub-Fab), u. a. für EUV
Status	seit 2014 Teil der Atlas Copco Group
Börsenzugang	indirekt über Atlas Copco (ATCO, Nasdaq Stockholm)
Wettbewerb	Pfeiffer Vacuum, Busch — Markt weniger monopolartig als EUV-Optik

Quellen: Atlas Copco / Edwards Vacuum; Branchenangaben. Engpass-Grad mittel (mehrere qualifizierte Anbieter).